晶圓熱電偶溫度傳感器 晶圓硅片測溫

什么是TC WAFER熱電偶？

       TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）

溫度是影響半導(dǎo)體工藝的重要因素之一，不同材料和工序?qū)囟让舾小＞A熱電偶溫度傳感器提供準(zhǔn)確的溫度信息，幫助工程師優(yōu)化工藝參數(shù)，提升產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。

半導(dǎo)體制造設(shè)備中的關(guān)鍵組件對溫度變化非常敏感，過高或過低的溫度可能導(dǎo)致設(shè)備損壞。通過在關(guān)鍵位置安裝晶圓熱電偶溫度傳感器，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備的工作溫度，避免設(shè)備故障和損害。且響應(yīng)速度較快，可以迅速捕捉溫度變化，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)溫度控制，從而提高工藝的穩(wěn)定性和效率。

半導(dǎo)體制造工序中的一些環(huán)境需要高溫條件，晶圓熱電偶溫度傳感器通常具備耐高溫性能，能夠在惡劣條件下穩(wěn)定工作。其結(jié)構(gòu)簡單，沒有活動部件，因此具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用。

產(chǎn)品優(yōu)勢

精度和穩(wěn)定性： 晶圓熱電偶傳感器可以在寬溫度范圍內(nèi)提供高精度的溫度測量。其設(shè)計(jì)和制造過程可以通過使用微納加工技術(shù)來控制傳感器的尺寸和特性，從而提高其穩(wěn)定性和重復(fù)性。

快速響應(yīng)時(shí)間： 由于晶圓熱電偶傳感器的微小尺寸，它們通常能夠更快地響應(yīng)溫度變化，這對于某些需要實(shí)時(shí)監(jiān)測的應(yīng)用非常重要。

靈活性： 由于晶圓熱電偶傳感器的制造過程較為靈活，可以在不同的基底材料上制造，從而適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。

抗干擾性： 與傳統(tǒng)的金屬熱電偶相比，晶圓熱電偶傳感器在一些環(huán)境中可能表現(xiàn)出更好的抗干擾性，因?yàn)樗鼈兛梢酝ㄟ^設(shè)計(jì)來減少外界電磁干擾的影響。

適應(yīng)特殊環(huán)境： 晶圓熱電偶傳感器可以設(shè)計(jì)成適應(yīng)特殊環(huán)境溫度測量。

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