用于實現(xiàn)至高精度的測量機

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一測量機的測量精度較高，其測量范圍近1立方米。

虛擬驅動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統(tǒng)，得益于蔡司的驅動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置分布驅動力。作為控制系統(tǒng)及算法之結合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優(yōu)點：高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。

機械設計的創(chuàng)新

XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

電子設計改進

通過全新的電子電路的設計從而使電路對產(chǎn)品的測量精度明顯提高，

通過計算機輔助精度修正法（caa）和特殊附加caa修正使的產(chǎn)品測量精度顯著提高并在測量過程中扮演者作用日趨重要