Phasics SID4-UVHR波前傳感器
Phasics利用其專li的四波橫向剪切干涉技術(shù),在紫外波前測量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率(345x275測量點(diǎn))和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完quan適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應(yīng)各種實(shí)驗(yàn)條件。
特點(diǎn):
由于其獨(dú)te的專li技術(shù)技術(shù),Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn):
1.超高分辨率:250x250測量點(diǎn)
2.高靈敏度:0.5nm
3.通光孔徑大:8*8mm
4.直接測量:光學(xué)元件和表面質(zhì)量
應(yīng)用:
SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應(yīng)用:
紫外激光器:光束測試與校正
光學(xué)測量:UV光學(xué)測試(半導(dǎo)體…)和表面測量
Phasics SID4-UVHR波前傳感器產(chǎn)品參數(shù):
波長范圍 | 190 - 400 nm |
通光孔徑 | 13.6 x 10.9 mm2 |
空間分辨率 | 40 µm |
采樣點(diǎn)(相位/強(qiáng)度) | 345 x 275 |
相位相對(duì)靈敏度 | 1 nm RMS |
相位精度 | 10 nm RMS |
動(dòng)態(tài)范圍 | ~ |
采樣頻率 | > 30 fps |
實(shí)時(shí)分析頻率 | 3 fps (full resolution) |
數(shù)據(jù)接口 | Giga Ethernet |
尺寸(w x h x l) | 51 x 51 x 76mm |
重量 | ~300 g |