UNION THS 雙面對焦厚度測定機(jī)
- Z軸光學(xué)輔助對焦符號,使操作人員有清楚準(zhǔn)確的判斷依據(jù),減少人為誤差大幅提昇精度。
- 採用上,下鏡頭的單點測量,不會因待測物(sample)彎曲而造成測量的誤差。
- 光學(xué)非接觸的測量方式不會造成待測物(sample)的刮傷或變形。
- 總和倍率由50倍至2000倍(上、下鏡頭須相同)。
THS 於Z軸測量時不會因待測物(sample) 上、下兩面的凹陷或凸起而造成測量的誤差
THS為針對厚度測量所專門開發(fā)光學(xué)非接觸式測定機(jī),*的上、下鏡頭設(shè)計可分別觀察待測物(sample)的上、下兩面
應(yīng)用範(fàn)圍:
- 微機(jī)電(MEMS)的懸膜及材料厚度測量
- 晶背研磨後的厚度測量
- 各種薄膜的厚度測量