Hisomet高精度三次元工具顯微鏡
為光學(xué)金相顯微鏡與X、Y、Z三軸高精密可動平臺所組成的尺寸量測設(shè)備。其中,Z軸量測精度可達±1μm,此外,光學(xué)非接觸式量測設(shè)計,可避免量測過程中對待測物造成損傷。依客戶需求,可搭配專業(yè)化的量測軟體及相關(guān)配件。
UNION三次元工具顯微鏡特性:
- 三眼式機臺設(shè)計,除基本的雙眼觀察,可外接CCD輸出高畫質(zhì)影像至影像顯示器。
- 可搭配三軸高精度光學(xué)尺,連接外接顯示器可快速讀取xyz三軸數(shù)值。
- 砲塔式旋轉(zhuǎn)物鏡座,可依實際需求選擇搭配適當倍率之物鏡。
- 大範圍XY平臺移動行程,支援300x300mm工件之跨畫距尺寸量測。
- Z軸超高精度量測,量測精度可達±1μm。
- 多元化的軟體功能,支援尺寸量測、CAD繪圖等進階功能操作。
- 可調(diào)式背光光源,提供待測物之輪廓量測。
- Z軸光學(xué)式輔助對焦符號,降低人眼對焦誤差。
- 提供兩種不同的對焦符號,可任意切換。
- 具備明、暗視場,可依待測物表面狀況隨時切換。
工具顯微鏡應(yīng)用範圍:
IC封裝產(chǎn)業(yè)(金線弧高、段差量測)、機械產(chǎn)業(yè)、學(xué)術(shù)研究機構(gòu)等需要高精度三次元量測的待測物(Sample)
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