三次元工具顯微鏡
- 採(cǎi)用光學(xué)Z軸對(duì)焦符號(hào)非接觸式檢測(cè)待測(cè)物(SamPle)高度/深度,避免造成待測(cè)物(SamPle)刮傷或變形。
- 可加裝測(cè)量軟體,並運(yùn)用量測(cè)統(tǒng)計(jì)分析(SPC)管制、WORD、EXCEL快速製作量測(cè)報(bào)告。
- 可單獨(dú)選購(gòu)Z軸對(duì)焦符號(hào),加裝到其它三次元工具顯微鏡,有效提高Z軸精度。
應(yīng)用範(fàn)圍:
- 錫球高度
- 金線弧高
- 銅箔高度
- 晶圓高度/深度
- 電子、機(jī)械各類產(chǎn)品高度/深度檢測(cè)
Z軸對(duì)焦符號(hào)
多種標(biāo)準(zhǔn)測(cè)定平臺(tái)可供選擇