基本參數(shù)(高精度型)

X向量程：120mm

X軸分辨率：0.2μm

X軸指示精度：±（1.5+0.025L)μm

Z1向量程：15mm

Z1軸分辨率：0.01μm

Z1指示精度：±（1.2+|0.08H|)μm

Z軸高度：400mm  立柱行程

直線度：1.2μm/100mm

水平精度：±（1+0.025L)μm

垂直精度：±（0.8+|0.03H|)μm

檢測(cè)方法：X軸 Z1軸 均為 新型數(shù)字式傳感器

驅(qū)動(dòng)速度：X軸 Z軸（立柱） 4檔,可自定義速度

測(cè)量速度：  X軸 : 0.1,0.2,0.5,1mm/s 自定義

驅(qū)動(dòng)方式：  X軸  Z軸 均為電動(dòng)

產(chǎn)品特點(diǎn)

★ 中臺(tái)式輪廓測(cè)量?jī)x，精度高、量程大，軟件可非比例放大。

★ Z1軸采用高精度數(shù)字式線性傳感器，測(cè)量范圍大、精度高、穩(wěn)定。

★ 采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時(shí)。足夠密集的數(shù)據(jù)源及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源

★ 為后期的數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供保障。

★ 大量程設(shè)計(jì)，杠桿比僅為1：2.2，限度保持了傳感器的原有精度。

★ Z軸傳感器整體結(jié)構(gòu)無任何彈性元件，從而保證無論測(cè)針處于均任何位置測(cè)力是衡定的。

★ 軟件自主研發(fā)，標(biāo)注、操作方式與CAD一致，軟件功能強(qiáng)大，有自動(dòng)抬起、自動(dòng)回退及捕捉功能。

★ 對(duì)測(cè)針進(jìn)行補(bǔ)償。