工藝設(shè)計(jì)是潔凈廠房設(shè)計(jì)過(guò)程的先導(dǎo)工序，所以對(duì)潔凈廠房工藝設(shè)計(jì)的基本要求是在滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，合理進(jìn)行潔凈廠房工藝布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)條件和要求等生產(chǎn)條件，做到能量消耗少，運(yùn)行費(fèi)用低，生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少，合理進(jìn)行人流路線，物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施的配置與布置，滿足產(chǎn)品潔凈生產(chǎn)要求和生產(chǎn)工藝要求，工藝設(shè)計(jì)應(yīng)合理選擇生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)，實(shí)用，安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。

　　潔凈廠房的工藝布局應(yīng)綜合各方面的因素，并重點(diǎn)考慮生產(chǎn)工藝，人員操作，設(shè)備維修，物料運(yùn)輸，未來(lái)發(fā)展等方面的要求，工藝布局的核心是滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，在此前提下根據(jù)所選擇的潔凈室氣流流型，在有利于工藝設(shè)備的安裝維修，物料運(yùn)輸和提高效率，降低能耗，降低造價(jià)等條件下，合理進(jìn)行潔凈廠房的工藝布置。

　　在電子工業(yè)的集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房的工藝布局設(shè)計(jì)時(shí)，為了降低各生產(chǎn)工序發(fā)生的投資和運(yùn)行成本，應(yīng)合理地進(jìn)行生產(chǎn)設(shè)備的布置來(lái)縮短產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的搬運(yùn)距離和時(shí)間，提高設(shè)備的利用率。一般是由產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝技術(shù)來(lái)確定工藝流程，并通過(guò)對(duì)工藝流程的各步驟分析，計(jì)算芯片在生產(chǎn)過(guò)程中各功能區(qū)域的傳送頻次。為了減少硅片傳送距離，傳送頻次較高的區(qū)域建議相鄰布置，如光刻區(qū)ing靠近刻蝕區(qū)，刻蝕區(qū)要靠近去膠清洗區(qū)等。集成電路芯片生產(chǎn)應(yīng)依據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序分核心生產(chǎn)區(qū)和生產(chǎn)支持區(qū)，通常核心生產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)工藝有光刻，刻蝕，清洗，氧化，擴(kuò)散，濺射，化學(xué)氣相淀積，離子注入等，一般在生產(chǎn)支持區(qū)設(shè)有人員凈化用室，物料凈化用室，各種工藝介質(zhì)的儲(chǔ)存分配間等。芯片生產(chǎn)的核心區(qū)通常以光刻工藝為中心進(jìn)行布置。

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