基本參數(標準型)
X向量程:100mm
X軸分辨率:0.2μm
X軸指示精度:±(3+0.02L)μm
Z1向量程:25mm
Z1軸分辨率:0.05μm
Z1指示精度:±(2.5+|0.15H|)μm
Z軸高度:320mm 立柱行程
直線度:1μm/50mm
水平精度:±(1.2+0.02L)μm
垂直精度:±(1.5+|0.03H|)μm
驅動方式:X軸 Z軸 均為電動
檢測方法: X軸 高精度光柵傳感器 0.2μm
Z1軸 高精度光柵傳感器 0.05μm
驅動速度: X軸 Z軸(立柱) 4檔,可自定義速度
測量速度:X軸: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定義