全自動勻膠機

產品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳動方式通過導軌絲桿傳動。

3）主軸使用伺服電機，RS485通訊精確控制轉速。

4）采用蠕動泵打膠，保證了定量滴膠，可節(jié)省光刻膠用量。

5）效率高，雙軸運動方式，雙軸獨立控制上下料，降低等待時間。

6）設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動滴膠轉換為手動滴膠。

7）熱板控溫方式為可控硅，自帶超溫保護系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便硅片烘烤。

                  *高轉速                         5000RPM

                 轉速精準度                    ≤1-4%RPM

     勻膠        滴膠手臂控制                  步進馬達       

                 滴膠頭位置精準                ≤0.2mm

該設備為全自動上下料勻膠設備，主要應用于3-5寸晶圓涂膠、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為雙軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。