第三代半導(dǎo)體晶圓磨削套件

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公司名稱(chēng)西技聯(lián)貿(mào)易（北京）有限責(zé)任公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間 2023-03-12
訪問(wèn)次數(shù)565

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

西技聯(lián)貿(mào)易（北京）有限責(zé)任公司(EUROLINK TECH. & TRADE (BEIJING) CO., LTD)成立于2004年，公司宗旨引進(jìn)西方*的技術(shù)和設(shè)備，服務(wù)中國(guó)工業(yè)化，同中國(guó)工業(yè)共同成長(zhǎng)。不積跬步，無(wú)以至千里；不積小流，無(wú)以成江海。工業(yè)化也是日積月累，水到渠成的結(jié)果。自公司成立以來(lái)，專(zhuān)注于服務(wù)機(jī)床行業(yè)，重工冶金行業(yè)，形成了以機(jī)床靜壓技術(shù)和設(shè)備，液壓潤(rùn)滑設(shè)備，機(jī)械加工MQL設(shè)備等核心業(yè)務(wù)，服務(wù)于行業(yè)企業(yè)，占有穩(wěn)定的份額。西技聯(lián)的經(jīng)營(yíng)宗旨為優(yōu)質(zhì)的設(shè)備專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)，保證用戶(hù)以公平的價(jià)格，獲得的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)的服務(wù)。西技聯(lián)目前提供德國(guó)Hyprostatik公司，德國(guó)Lubrix公司，意大利ILC公司、意大利B-Systems（科諾）公司的產(chǎn)品和相關(guān)服務(wù)。同時(shí)西技聯(lián)密切跟蹤的工業(yè)技術(shù)，不斷引進(jìn)關(guān)鍵設(shè)備，致力于民族工業(yè)的發(fā)展。西技聯(lián)貿(mào)易（北京）有限責(zé)任公司

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靜壓導(dǎo)軌,靜壓主軸,靜壓絲杠,雙線潤(rùn)滑泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

第三代半導(dǎo)體材料磨削加工專(zhuān)用靜壓主軸和靜壓承片臺(tái)，具有比氣浮主軸更高剛性，更好的減振特性。適合于碳化硅晶圓的磨削加工。

第三代半導(dǎo)體晶圓磨削套件產(chǎn)品信息

技術(shù)特點(diǎn)：

1. 采用靜承+氣浮軸承，可靠性更高；

2. 氣浮軸承兼具密封功能，密封氣流開(kāi)啟時(shí)液壓油無(wú)泄漏；

3. 采用水溶性液壓油，可用純水清洗；

4. 轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑250毫米，配備真空吸盤(pán)后可用于12吋Sic晶圓磨削；

5. 高剛度：主軸軸向剛度大于1000 N/µm，轉(zhuǎn)臺(tái)軸向剛度大于3000 N/µm；

6. 高精度：主軸、轉(zhuǎn)臺(tái)軸向/徑向回轉(zhuǎn)精度< 0,25µm；

7. 具備優(yōu)秀的減振特性，成品率更高；

8. 靜承無(wú)磨損，機(jī)床精度長(zhǎng)期保持；

9. 靜承采用的PM流量控制器調(diào)節(jié)油腔流量，高承載，高剛度。

	靜壓主軸	靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)
供油壓力	50 bar	50 bar
液壓油粘度	HLP-PAO 5	HLP-PAO 46
轉(zhuǎn)速	4000 rpm	600 rpm
徑向承載	1.000 N	1.000 N
軸向承載	+/- 1000 N	1000 N
徑向油膜剛度	450 N/µm	600N/µm
軸向油膜剛度	1000 N/µm	3000N/µm
液壓油流量30°C	3-8 l/min	1.7 l/min