主要特點:
1、轉(zhuǎn)移效果良好,轉(zhuǎn)移過程對芯片無損傷
2、擁有高精度對位系統(tǒng), Micro LED轉(zhuǎn)移落點精準,位置精度達到±1μm
3、轉(zhuǎn)移效率可達2kk/h-100kk/h
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 兼容種類 | Carrier:圓片4 Inch、 6 Inch帶平邊 |
Substrate | ≤470*350 | |
對位精度 | 可精確對位,對位誤差≤1μm,對位角度誤差≤ 6arcsec | |
轉(zhuǎn)移良率 | 轉(zhuǎn)移良率可達99.99% | |
轉(zhuǎn)移效率 | 轉(zhuǎn)移效率可達2kk/h-100kk/h |