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    晶圓激光切割機(jī)

    參考價(jià) 288888
    訂貨量 ≥1
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 公司名稱(chēng)首昂光電(上海)有限公司
    • 品       牌其他品牌
    • 型       號(hào)SA-IR20WD
    • 所  在  地上海市
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間 2023-03-07
    • 訪問(wèn)次數(shù)910
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    十五年深耕激光設(shè)備研發(fā),十五年扎根半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,造就了首昂光電深厚的技術(shù)沉淀以及*特的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動(dòng)化技術(shù)帶入半導(dǎo)體行業(yè)。

    作為*內(nèi)*批將激光應(yīng)用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的*軍者,公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)正積極將激光技術(shù)應(yīng)用到更寬廣的半導(dǎo)體領(lǐng)域,助力中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)走向*端與自主可控。公司已儲(chǔ)備大量基礎(chǔ)加工技術(shù),正穩(wěn)步推進(jìn)一系列擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新工藝、新應(yīng)用,在多個(gè)關(guān)鍵制程設(shè)備上達(dá)到行業(yè)*先水平,*美實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。

     

    晶圓激光切割機(jī),晶圓激光劃片機(jī),晶圓激光刻號(hào)機(jī),全自動(dòng)勻膠機(jī),韓國(guó)進(jìn)口LS DD馬達(dá)(力矩電機(jī)),晶圓激光焊接機(jī)、激光打孔機(jī)
    產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 激光器波長(zhǎng) 1064nm
    激光器功率 20W 切割厚度 0.1mm
    切割速度 150mm/s 驅(qū)動(dòng)方式 伺服電機(jī)
    售后保修期 12個(gè)月 外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高) 1350*800*1700mm
    重復(fù)定位精度 0.002mm 重量 680kg
    晶圓激光切割機(jī)
    Wafer Laser Cutting Machine
    產(chǎn)品特點(diǎn):
    劃片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s

    ?非接觸式加工,無(wú)機(jī)械應(yīng)力,適合切脆性易碎硅晶圓
    ?CCD快速定位功能,實(shí)時(shí)同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能
    ?高精度二維直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高精度D D旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
    ?大理石基臺(tái),穩(wěn)定可靠,熱變形小
    ?專(zhuān)業(yè)操控系統(tǒng)
    ?全中文操作界面,操作直觀、簡(jiǎn)易,界面良好
    ?無(wú)需砂輪刀、藍(lán)
    晶圓激光切割機(jī) 產(chǎn)品信息

    晶圓激光切割機(jī)

    Wafer Laser Cutting Machine

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    劃片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s


    ?非接觸式加工,無(wú)機(jī)械應(yīng)力,適合切脆性易碎硅晶圓

    ?CCD快速定位功能,實(shí)時(shí)同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能

    ?高精度二維直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高精度D D旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

    ?大理石基臺(tái),穩(wěn)定可靠,熱變形小

    ?專(zhuān)業(yè)操控系統(tǒng)

    ?全中文操作界面,操作直觀、簡(jiǎn)易,界面良好

    ?無(wú)需砂輪刀、藍(lán)膜、去離子水等耗材

    ?高可靠性和穩(wěn)定性

    ?劃片質(zhì)量高,玻璃鈍化層無(wú)崩裂和微裂紋。

    應(yīng)用領(lǐng)域:

    廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及T VS晶圓的劃線切割。


    產(chǎn)品參數(shù):

    設(shè)備型號(hào)             SA-IR20W        SA-UV15W

    激光波長(zhǎng)              1064nm                            355nm

    激光功率              20w/30w                         5w/10w/17w

    *大加工晶圓尺寸3-5寸                         4寸

    劃線速度              150mm/s                               70mm/s

    劃線線寬      35~45μm                            20~30μm

    劃線線深       < 120μm(視材料而定)                50-100μm

    系統(tǒng)定位精度   5μm                               5μm

    重復(fù)定位精度   2μm                               2μm

    激光器使用壽命10 萬(wàn)小時(shí)                              1.2 萬(wàn)小時(shí)

    設(shè)備尺寸         1350*800*1700mm  1350*800*1700mm

    整機(jī)重量            680kg                             680kg


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