隨著奈米時代的來臨，許多科技產(chǎn)業(yè)對精密度的要求已經(jīng)從微米(micrometer)，次微米(sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環(huán)境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外，振動會是首先必須面對的問題。 德國BILZ公司以40年的防振實務(wù)經(jīng)驗，研發(fā)出氣電控制主動防振系統(tǒng)AIS(Active Isolation System)。
商品特色
- 可同時控制6個自由度方向振動。
- 理想的防振效益，無共振問題。
- 無論垂直向及水平向，均可得到的水平控制精度。
- 極小的動態(tài)位移量且動態(tài)穩(wěn)定時間很短。
- 高效益的即時控制。
- 每個自由度均有獨立之快速控制元件，可精確控制定位、氣壓及加速度。
- 操作容易，對話式WinSNI軟體直接設(shè)定調(diào)整AIS系統(tǒng)。
- 兩種不同的控制模式，scanning mode及l(fā)oading mode，可分別針對各種不同特性需求調(diào)整。
- 不需機器控制動作。
- 不受機器設(shè)備驅(qū)動之熱源及磁場影響。
商品應(yīng)用
- 防振要求等級非常高，如VC-E。
- 設(shè)備水平定位精度要求高並要快速穩(wěn)定。
- 避免共振影響。
AIS的推出已實際有效協(xié)助各科技產(chǎn)業(yè)解決所面臨的振動問題，如半導(dǎo)體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產(chǎn)業(yè)。
產(chǎn)品規(guī)格：需由顧客提供資料與環(huán)境測試再評估。
