高動態(tài)和振動敏感機器的振動隔離
EPPC是針對高動態(tài)儀器設計的防振系統(tǒng),該系統(tǒng)可用於高精度機器,振動敏感和高動態(tài)測量機,顯微鏡以及測試和生產(chǎn)機器。
- EPPC™的動態(tài)水平控制實現(xiàn)了+/-8μm的位置精度,並且在動態(tài)負載變化期間顯著減少了偏轉和衰減時間。
- EPPC™可與三個或六個控制組的空氣彈簧組合,提供高達六個自由度的有效隔振。
- EPPC™適用於敏感環(huán)境,如 品保室或實驗室。
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高動態(tài)和振動敏感機器的振動隔離
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