商品特色
- 一個(gè)步驟完成粗糙度和輪廓量測(cè)。
- 高的量測(cè)和定位速度可大幅減少量測(cè)時(shí)間。
- 刪除創(chuàng)新的測(cè)頭系統(tǒng)。
- 快速安全的測(cè)針更換，內(nèi)建晶片。
- 長(zhǎng)測(cè)量長(zhǎng)度，高達(dá) 260 mm (MarSurf LD 260)，測(cè)量行程 13 mm（100 mm 測(cè)針長(zhǎng)度）或 26 mm（200 mm 測(cè)針長(zhǎng)度）。
- 模組化設(shè)計(jì)，方便維護(hù)。
- 維護(hù)時(shí)無(wú)需拆卸量測(cè)立柱。
商品規(guī)格
| LD130 | LD260 | |
| 量測(cè)長(zhǎng)度﹝Lt﹞ | 0.1~130 mm | 0.1~260 mm |
| 位移速度 | 0.02~200 mm/s | 0.02~200 mm/s |
| 量測(cè)速度 | 0.1 mm/s 至 10 mm/s；用於粗度量測(cè)，建議 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s | |
| 解析度 | 0.8nm | |
| 測(cè)針量測(cè)範(fàn)圍﹝Z﹞ | 13mm﹝100mm測(cè)針長(zhǎng)度﹞ 26mm﹝200mm測(cè)針長(zhǎng)度﹞ | |
| 量測(cè)力量 | 0.5~30 mN 透過(guò)軟體調(diào)整 | |
