快速的移動(dòng)軸
- X軸的定位速度可達(dá)200 mm / s。
- 比前一代MarSurf PCV和MarSurf CD 120快25倍。
- 該系列所有量測(cè)站都具有CNC控制的Z軸。
- Z軸移動(dòng)速度是以前Mahr Z軸的兩倍。
- 比市場(chǎng)上常見機(jī)種的X軸快5倍。
高動(dòng)態(tài)的智慧型測(cè)頭系統(tǒng)
- 透過(guò)晶片識(shí)別探針臂。
- 標(biāo)準(zhǔn)量測(cè)範(fàn)圍可達(dá)70 mm達(dá)100 mm，使用490 mm探針臂。
- 磁性探頭臂無(wú)需使用工具，即可更換探頭臂。
- 探針系統(tǒng)更加的穩(wěn)定，且可以高動(dòng)態(tài)。
- 可擴(kuò)展粗糙度評(píng)估。
創(chuàng)新的工件夾持治具板
- 治具板390 x 430 mm，孔徑50 mm。
- 治具板Y軸移動(dòng)可達(dá)60 mm。
- 治具板和Y軸調(diào)整的組合省去了額外安裝XY工作臺(tái)的需求。
- 低工件設(shè)定更有利工件的量測(cè)，這對(duì)量測(cè)方式有更多變化。

	MarSurf CD 280	MarSurf CD 140
測(cè)桿長(zhǎng)度	210 mm; 350 mm; 490 mm	210 mm; 350 mm; 490 mm
量測(cè)速度	0.02 - 10 mm/s	0.02 - 10 mm/s
量測(cè)範(fàn)圍（X 方向）	0.1~280 mm	0.1~140 mm
解析率	6 nm（210 mm 測(cè)桿）	6 nm（210 mm 測(cè)桿）
定位速度	0.02 - 200 mm/s (X)	0.02 - 200 mm/s (X)
測(cè)量範(fàn)圍 mm	70 mm（Z 方向，350 mm 測(cè)桿） 100 mm（490 mm 測(cè)桿）	70 mm（Z 方向，350 mm 測(cè)桿） 100 mm（490 mm 測(cè)桿）
測(cè)量力 (N)	Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可透過(guò)軟體調(diào)整	Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可透過(guò)軟體調(diào)整