產(chǎn)品介紹
M-NanoCoord細(xì)微形狀測(cè)量系統(tǒng)
特點(diǎn)
• 能精確測(cè)量微小表面的形狀(如MEMS 產(chǎn)
品、 電氣設(shè)備、精密模、陽模、球面透鏡
等)。
• M-NanoCoord 系列的每一型號(hào)均包含一臺(tái)
開發(fā)的超高精度主機(jī)。
• M-NanoCoord 系列的每一型號(hào)均包含一個(gè)
作為標(biāo)準(zhǔn)配件的視像測(cè)頭。
• 除了標(biāo)準(zhǔn)的視像測(cè)頭之外,還可安裝第
二測(cè)頭。
兩種測(cè)頭可供選擇
極低測(cè)力掃描測(cè)頭,特別適用于非損傷地
測(cè)量軟質(zhì)工件;
極小測(cè)頭的接觸式測(cè)針UMAP103,特別適
用于測(cè)量微孔。