產(chǎn)品介紹
FS-70378 系列 — 半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
特點(diǎn)
• 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升
級(jí)為 FS70 型) 而開發(fā)的。它作為測量檢測
半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
• FS70L 支持3 種YAG 激光波長(1064nm,
532nm, 355nm), FS70L4 支持 2 種波長(532nm,
266nm),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的
使用范圍。然而,使用三豐量具對(duì)顯微
鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性,三豐公
司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射
器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
• FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有:亮視場,微分干涉
對(duì)比 (DIC) 和偏振觀測。FS70L 和FS70L4 不
支持 DIC。
使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡
的操作很簡單。
• 極易操作的設(shè)計(jì):FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng)
(視場中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把
手加大微調(diào)手輪。