早期超純水的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工、造紙等行業(yè)，水質(zhì)要求相對較低，超純水制水設(shè)備只要采用離子交換，該超純水制水設(shè)備方法的主要缺點是化學(xué)藥劑再生，既麻煩又不經(jīng)濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展，對超純水質(zhì)量要求提高，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展，到了上個世紀末，膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)*的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換設(shè)備系統(tǒng)，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求取設(shè)備工藝。

超純水設(shè)備工藝流程：

1. 預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

2. 預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)

3. 預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)

4. 預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)

5. 預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

6、預(yù)處理系統(tǒng)→一級反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→離子交換系統(tǒng)→用水對象(≥18MΩ.CM)