【集成單元】
通過緊湊集成標(biāo)準(zhǔn)化部件,構(gòu)建工藝氣體供氣線。
實現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時。
型號 | 名稱 | 內(nèi)容 | 尺寸 | 配管方式 | 備注 |
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IAGD4 | 集成化供氣系統(tǒng) | - | - | W密封 | |
MAGD4-R | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 氣控閥 | 1.5inch | - | |
MOGD4 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 手動閥 | 1.5inch | - | |
MFGD4 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 流量調(diào)節(jié)閥 | 1.5inch | - | |
MCGP4 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 單向閥 | 1.5inch | - |