【可進行緩慢排氣控制】
與通常的ON/OFF真空閥和兩段排氣真空閥相比,實現(xiàn)了固定比率的緩慢排氣。
【新增壓力控制功能】
以可靠性高的真空閥為基礎,增加壓力控制功能。
真空時的壓力調(diào)節(jié)無需減壓閥和可變漏閥。
通過采用截止閥方式,以O形圈密封結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了蝶閥不擅長的全閉動作。
【維護簡便】
閥和電裝部可分別維護。
型號 | 名稱 | 配管方式 | 備注 |
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IAVB※17 | 真空壓力控制系統(tǒng) | NW16, 25, 40, 50 | |
IAVB-CONT | IAVB用控制器 | - |