【輕量、緊湊】
采用簡單的截止型結(jié)構(gòu),與以往的耐磨型膜片閥相比,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了輕量、緊湊化。
有助于裝置的省空間、節(jié)能化。
【高耐久性】
應(yīng)用要求高潔凈度和耐久性的半導(dǎo)體行業(yè)的液體控制技術(shù)。
比以往的耐磨型膜片閥大幅提高膜片的耐久性,實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定動(dòng)作。
【維護(hù)性】
可更換膜片。
更換方便,縮短維護(hù)時(shí)間。
型號(hào) | 名稱 | 配管口徑 | 備注 |
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SPD | 氣控式 截止型膜片閥 | ISO套圈 接頭8A、15A |