機(jī)床特點
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加工元件表面粗糙度可達(dá)納米級，口徑可達(dá)到200mm，加工工件表面粗糙度Ra<3nm，面形精度PV值<0.2μm。可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件。可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯(lián)動模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對稱元件和自由曲面，配以特殊刀具可以實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。機(jī)床配置
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●超高精度空氣靜壓主軸 自主技術(shù)●超精密液體靜壓導(dǎo)軌 自主技術(shù)
● 超精密控制系統(tǒng) 自主技術(shù)
● 超高分辨率光柵尺 31.25pm
● 全封閉防護(hù)設(shè)計 外觀
● 自平衡可調(diào)隔振系統(tǒng) 實用
技術(shù)參數(shù)
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Z軸（沿主軸）1.行程： 200mm
2.直線度： 0.1μm/100mm
3.分辨率： 1nm
4.進(jìn)給速度： 20mm/s
X軸（垂直于主軸）
1.行程： 200mm
2.直線度： 0.1μm/100mm
3.分辨率： 1nm
4.進(jìn)給速度： 20mm/s
主軸（工件軸）
1.徑跳和端跳 ： ＜0.05μm
2.主軸轉(zhuǎn)速： 0-6000rpm
使用環(huán)境要求
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1.要求隔震地基，設(shè)備在溫度:20±2℃，一天內(nèi)溫度梯度小于2℃。濕度：＜50%的環(huán)境下使用。2.空氣過濾精度：0.5um。除油、除水。
3.空氣壓力：≥0.6MPa。
4.空氣流量: ≥0.3m³/min。
5.電源：380V，設(shè)備功率：≤5KW。
