表面粗度 | |
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測定范圍 | 1200um |
測量距離 | 120mm |
Z方向分解能 | 16 bits/Range |
直線度 | 0.2um/120mm |
觸針 | R2um/60° |
輪廓形狀 | |
測定范圍 | 60mm |
測量距離 | 120mm |
Z方向分解能 | 0.025um |
直線度 | 1.0um/120mm |
觸針 | R25um |
設(shè)置寸法 | W 1600mm × D 800mm |
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