機構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉(zhuǎn)式 |
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半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | (0.04+0.0005H)um (EC1850H) (0.02+0.0003H)um (EC3300H) H:工作臺面上算起的高度(mm) |
測定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ450mm |
積載質(zhì)量 | 30kg |
上下移動量 | 400mm (使用b觸針臂時) |
全姿勢檢出器:
利用長探針桿臂以及新開發(fā)“one touch”式檢出器holder可自由進入深穴、平面、傾斜面……等測定點。另有防止探針落差過大之保護機構(gòu)。
一,R/Z軸自動停止裝置:
檢出器半徑方向或上下方向,利用伺服控制,可自動找出測定位置,幾乎無需手動微調(diào)整,操作性大幅上揚。
二,缺陷圖形:
此方式,可從直線圖形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,無需細微調(diào)整。
三,多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng):
Kosaka的多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)工作臺,由于特殊設(shè)計,有以下特點:
1、具高剛性高負荷能力,故對偏負荷以及外部震動有強力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性的情況下,可得到高回轉(zhuǎn)精度。
3,空氣消耗量非常之少(為傳統(tǒng)的1/3),穩(wěn)定度高并可達經(jīng)濟之效果。
有以上三特點,即是為了達到高精度,安定性之測量結(jié)果的堅強保證。
四,多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng):
可連續(xù)測定128斷面,而進行自動測定。