機構·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉(zhuǎn)式 |
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半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | (0.02+0.00035H)um H:工作臺面上算起的高度(mm) |
測定徑 測定高度 | 內(nèi)外徑都是Φ368mm 外徑470mm, 內(nèi)徑320mm |
裝載徑/積載重量 | Φ510mm/25kg |
上下移動量 | 300mm (使用b觸針臂時) |
一、的one touch全姿勢調(diào)整傳感器:
利用長探針桿臂以及新開發(fā)“one touch”式傳感器holder可自由進入深穴、平面、傾斜面、內(nèi)徑、外徑……等測定點。軟件具有提醒功能,可實現(xiàn)編程后一次性的測量樣品所有參數(shù)。另有防止探針落差過大卡針之保護機構。
二、R/Z軸自動停止裝置
橫臂方向(半徑方向)或上下方向均有自動停止機能,利用伺服控制,可自動找出測定位置,幾乎無需手動微調(diào)整,操作性大幅上揚。
三、缺陷圖形
此方式,可從直線圖形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,無需細微調(diào)整。
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