機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承·檢出器回轉(zhuǎn)式 |
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半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | 0.05um (JISB 7451) |
測定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ550mm |
積載質(zhì)量 | 200kg |
上下移動量 | 750mm (使用b觸針臂時(shí)) |
工作臺移動范圍 | X:土60mm Y:士60mm |
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