落地式結(jié)構(gòu)，一體化多層防震結(jié)構(gòu)
3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實(shí)時(shí)顯示外界溫度，可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。
輪廓測(cè)量·高精度傳感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
3000系列推出的系列機(jī)臺(tái)，外觀更加美觀大氣，抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器，軟件界面實(shí)時(shí)顯示外界溫度，可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。
大量程高精度輪廓傳感器
輪廓測(cè)量·高精度傳感器
指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器
粗糙度測(cè)量·高分辨率傳感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)
粗糙度測(cè)量·高分辨率傳感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | |
| 測(cè)量范圍 | X軸 | 0-220mm可選 |
| Z軸 | 0-620mm可選 | |
| Z1軸 | C：0-±30mm可選/R：±620μm | |
| Z1輪廓指示精度 | ≤±（0.6+|0.1H|）μm | |
| Z1粗糙度指示精度 | ≤±（5nm+2.5%） | |
