采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動導(dǎo)軌,精密控制系統(tǒng)。
一體機(jī)具有傳統(tǒng)的粗糙度輪廓儀的優(yōu)勢
特點(diǎn):
一次測量實現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
實現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量
項目 | 規(guī)格 | |
測量范圍 | X軸 | 120-220mm可選 |
Z軸 | 420-620mm可選 | |
Z1軸 | ±10mm | |
Z1輪廓指示精度 | ≤±(0.8+|0.15H|)μm | |
Z1粗糙度指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) |