基本參數(shù)
X向量程:100mm
Z向量程:320mm
X軸檢測(cè)方法:高精度光柵傳感器/分辨率:0.2μm
Z1向量程:±0.5mm,±1.25mm,±2mm,±5mm
X軸精度:±(3+0.02L)μm
Z1軸精度:±0.3%f.s.
X軸直線度:1.2μm/100mm
X軸測(cè)量速度: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
驅(qū)動(dòng)方式及速度:X軸 Z軸均為 電動(dòng) 4檔,可自定義速度
量程與分辨率比例:65536:1(16位)
傳感器類型:差動(dòng)變壓器,2段式