特點(diǎn)
- 配備水平多軸機(jī)械手臂（GCR4310-500-AM）可以在沒(méi)有機(jī)械手臂本體水平移動(dòng)軸的條件下，同時(shí)滿足4個(gè)6寸晶圓盒的晶圓傳輸
- 500 mm的Z軸行程可適應(yīng)上下2層片盒的布局
- 配備手指翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的機(jī)械手臂適應(yīng)于在不接觸晶圓工藝表面條件下的反裝晶圓的傳輸
- 機(jī)械手臂腕部可以安裝晶圓Mapping Sensor，用于片盒內(nèi)各層晶圓的有無(wú)檢測(cè)
- 出于安全面的考慮，設(shè)備維護(hù)門上安裝有門開(kāi)關(guān)傳感器，保證機(jī)械手臂動(dòng)作過(guò)程中的人員安全
- 可以選裝能夠檢測(cè)玻璃（透明被搬運(yùn)物）的校準(zhǔn)器（SAL3361GR）
- 可以根據(jù)客戶端設(shè)備需求，任意修改對(duì)接模塊的設(shè)計(jì)（HOST通訊方式需要另行商議）
- 另外，根據(jù)客戶需求，可定制不同規(guī)格要求的產(chǎn)品
適用多種設(shè)備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制設(shè)計(jì)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
PE-CVD設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | 150 mm 晶圓（玻璃, 藍(lán)寶石, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 處理量 | 140片/h（不包括裝備的處理時(shí)間） | |||
| 動(dòng)作范圍 | 到達(dá)距離 （被搬運(yùn)物體中心） | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | 翻轉(zhuǎn)軸 |
| 672mm | 335度 | 500 mm | 180度 | |
| 搬運(yùn)速度 （平均速度） | 機(jī)械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 550 mm/秒 | 300度/秒 | 300 mm/秒 | ||
| 搬運(yùn)速度 （速度） | 機(jī)械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 900 mm/秒 | 400度/秒 | 450 mm/秒 | ||
| 不配備翻轉(zhuǎn)裝置 真空吸引搬運(yùn) | 機(jī)械臂 | 旋轉(zhuǎn)角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 1800 mm/秒 | 540度/秒 | 500 mm/秒 | ||
| 反復(fù)偏差值 | ±0.1 mm以內(nèi) | |||
| 位置精度 | 中心定位 ±0.2mm以內(nèi) 切邊定位 ±0.2度以內(nèi) | |||
| 位置確定所需時(shí)間 | 槽口檢測(cè) 3秒以內(nèi) (不實(shí)行從新夾持動(dòng)作) | |||
| 位置補(bǔ)正范圍 | 半徑4mm以內(nèi) | |||
| <系統(tǒng)> | ||||
| 晶圓保持方式 | 真空吸引 | |||
| 清凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下） | |||
| 占用空間 | 640 mm×835 mm (不包括觸摸屏) | |||
| 質(zhì)量 | 大約350 kg | |||
| 廠務(wù) | 電源：?jiǎn)蜗嘟涣?00V±10% 15A 真空：-53 kPa以上 | |||
