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晶圓校準器不受晶圓材質(zhì)（新產(chǎn)品【SAL3000HV系列】全自動調(diào)整功能對應(yīng)版本）

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參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
品牌
型號SAL3000HV
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間 2022-12-16
訪問次數(shù)422

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是由留學歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。　　公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗，能夠設(shè)計可用于半導體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。　　公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點，能夠有效的提高產(chǎn)線效率，降低生產(chǎn)成本； JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點，能夠滿足中國客戶需求，適合當前的中國市場。　　作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴，我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

潔凈機械手臂

產(chǎn)品簡介在線詢價

適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。

晶圓校準器不受晶圓材質(zhì)（新產(chǎn)品【SAL3000HV系列】全自動調(diào)整功能對應(yīng)版本）產(chǎn)品信息

特點

JEL研發(fā)的可對應(yīng)多種類型晶圓的新型Aligner【SAL3000HV系列】全自動對應(yīng)版本。
2016年12月14日之后出廠的校準器產(chǎn)品都配有校準工具軟件。
*詳細情報【JEL ALIGN TOOL】軟件.

使用了新技術(shù)的可用于多種材質(zhì)晶圓的新產(chǎn)品

可適用于硅片，帶BG膠帶（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圓等不同材質(zhì)晶圓的位置校準
使用自主研發(fā)的圖像識別傳感器，采用了控制器和電機驅(qū)動器集成到設(shè)備本體內(nèi)部的一體化設(shè)計
可以根據(jù)晶圓尺寸，材質(zhì)更改Spindle的直徑，形狀和材質(zhì)可以使用伯努利吸附方式
控制方式：串口RS232C或者并口光學I/O口
不符合SEMI規(guī)格的缺口，缺邊形狀也可以提供定制設(shè)計
能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備

規(guī)格

被搬運物	SEMI規(guī)格晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓) (其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計) 2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV) 100-200 mm (SAL3482HV) 200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度	晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi) 晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi)
位置確定所需時間	3秒（不包括晶圓的取放時間）
傳感器	LED燈照明+圖像識別傳感器的方式對晶圓邊緣進行檢測
位置校正范圍	半徑4mm以內(nèi)
晶圓吸附方式	真空吸附式
潔凈度	ISO標準 Class 2(驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
質(zhì)量	大約10 kg
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上