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3軸圓柱坐標(biāo)型真空潔凈機械手臂

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面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
品牌
型號SVCR3330S
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間 2022-12-16
訪問次數(shù)394

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是由留學(xué)歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。　　公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗，能夠設(shè)計可用于半導(dǎo)體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當(dāng)前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。　　公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點，能夠有效的提高產(chǎn)線效率，降低生產(chǎn)成本； JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點，能夠滿足中國客戶需求，適合當(dāng)前的中國市場。　　作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴，我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。

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潔凈機械手臂

產(chǎn)品簡介在線詢價

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3000系列雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運4kgf以下的托盤相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優(yōu)勢

3軸圓柱坐標(biāo)型真空潔凈機械手臂產(chǎn)品信息

特點

可以搬運重量5kg以下的托盤，使用了成本優(yōu)勢明顯的步進電機

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：330 mm
Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：60 mm
可搬運重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)10 kgf以下
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：采用磁流體密封裝置及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級過濾器
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
可以選配伺服電機規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備；刻蝕設(shè)備；高溫PVD設(shè)備

規(guī)格

被搬運物	342mm托盤x2片（具有代表性的尺寸）
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）	1075 mm	330度	60 mm
搬運速度 (平均速度)*	250 mm/sec	90度/sec	30 mm/sec
搬運速度 (速度)*	380 mm/sec	135度/sec	45 mm/sec
精度*	65 µm	0.0056度	2.777µm
搬運高度*	188.5 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度）
重復(fù)性精度	±0.2mm以內(nèi)
潔凈度	可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度	1.33x10^-6Pa
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 11A