特點(diǎn)
- 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：330 mm
- Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：60 mm
- 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)4kgf以下
- 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
- 真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
- 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級(jí)過(guò)濾器
- 雙手指機(jī)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
- 配備動(dòng)作監(jiān)視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
- 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
- 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來(lái)保持位置
- 可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供優(yōu)選的手指
能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局。
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
高溫PVD設(shè)備；刻蝕設(shè)備等
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | ?300 mm晶圓 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
| 可動(dòng)范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)） | 635 mm | 360度 | 60 mm |
| 搬運(yùn)速度 | 640 mm/1.0sec | 180度/1.1sec | 60 mm/1.0sec |
| 精度 | 第1關(guān)節(jié)軸（J1軸） 第2關(guān)節(jié)軸（J2軸） | 第3關(guān)節(jié)軸（J3軸） 第3關(guān)節(jié)軸（J5軸） | Z軸（J4軸） |
| 0.00081度 0.00081度 | 0.00072度 0.00072度 | 0.98µm | |
| 重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
| 潔凈度 | 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過(guò)濾裝置 | ||
| 耐真空度 | 1×10-6Pa | ||
| 廠務(wù) | 電源：単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz | ||
*測(cè)試機(jī)型：GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)品 (搬運(yùn)物體，以及手指形狀的不同上述測(cè)量結(jié)果會(huì)不同)
