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3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
品牌
型號SCR3000CSN
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間 2022-12-16
訪問次數(shù)449

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是由留學歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。　　公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗，能夠設(shè)計可用于半導體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。　　公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點，能夠有效的提高產(chǎn)線效率，降低生產(chǎn)成本； JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點，能夠滿足中國客戶需求，適合當前的中國市場。　　作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴，我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。

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潔凈機械手臂

產(chǎn)品簡介在線詢價

3個新功能：采用閉環(huán)位置控制電機配備值編碼器編碼器不需要更換電池

3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂產(chǎn)品信息

特點

對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設(shè)計運用自如，降低成本。
*加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規(guī)格

采用即使在負載發(fā)生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式，有效地提高了機械手臂的可靠性
電機配備值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置，縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
值編碼器為機械式，不需要更換電池
可以和舊型號的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現(xiàn)有設(shè)備的升級改造
高強度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3 kgf力（包含腕部機構(gòu)模塊，手指，晶圓的重量）
機械手臂標準臂長：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
Z軸（升降軸）標準長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option）

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM，PE-CVD設(shè)備，AOI設(shè)備

規(guī)格

被搬運物	2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓（其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計）
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準）	340 mm	340度	300 mm
搬運速度 (平均速度)*	610 mm/sec	340度/sec	250 mm/sec
搬運速度 (速度)*	1220 mm/sec	500度/sec	320 mm/sec
精度*	10.0µm以下	0.00515度	2.0µm
重復(fù)性精度	±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度	ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 10A 真空：優(yōu)于-53 kPa