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    5軸水平多關節(jié)型潔凈機械手臂

    參考價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準
    • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
    • 品       牌
    • 型       號GTFR5280
    • 所  在  地
    • 廠商性質生產廠家
    • 更新時間 2022-12-16
    • 訪問次數505
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    北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發(fā)區(qū),是由留學歸國技術人員所創(chuàng)辦的高科技技術型企業(yè)。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業(yè)20年的實際從業(yè)經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產品以及優(yōu)質、快捷的服務。
    潔凈機械手臂
    用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂。單臂雙手指結構能夠實現(xiàn)和雙臂結構同樣的功能。適用于300mm半導體生產設備內部,適用于EFEM的晶片搬運。
    5軸水平多關節(jié)型潔凈機械手臂 產品信息
    特點

      與我司以往產品的GTCR相比,減少動作禁止區(qū)域、速度限制的影響,提高傳片效率。
      (比本公司以往產品提高60%)

    • 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
    • 機械手臂可以單獨對應3個FOUP(280mm臂長)
    • 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
    • 可以選擇單臂規(guī)格
    • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式, Ethernet
    • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機, 無需電池
    • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
    • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
    • 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指

    規(guī)格
    機械手臂型號 GTFR5280-320-DM
    被搬運物 ~300mm晶圓
    晶圓吸附方式 真空吸附式
    機械結構格式 水平多關節(jié)
    控制軸 5軸
    電機類型 全軸采用AC伺服電機, 無需電池
    可動范圍 被搬送物體中心到達距離 升降(Z軸)
    893mm 320mm
    搬運速度(平均) 手臂(R軸) 升降(Z軸)
    900mm/sec(圓筒動作時) 320mm/sec
    搬運速度() 手臂(R軸) 升降(Z軸)
    1,500mm/sec(圓筒動作時) 540mm/sec
    重復性精度 ±0.05 mm以內
    潔凈度 ISO標準 Class 1
    廠務 電源:単相AC200V±10% 2kVA
    真空:優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指)
    質量 機械手臂體 大約80kg

    上述規(guī)格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規(guī)格的一個示例

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