中圖儀器SJ6000高精度測量激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。
結(jié)合不同的光學鏡組，SJ6000高精度測量激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
性能特點
1. 自動采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；
2. 測量過程全自動化，效率高；
3. 可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強；
4. 可自動生成誤差曲線和補償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標準自動計算定位精度結(jié)果，無需人工計算。
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、機床、自動化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。
