設備簡介：
本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。
設備特點：
1.機身結構優(yōu)化設計，機架采用龍門式結構，剛性好，承壓能力強，能滿足高負載下高速穩(wěn)定運行。
2.下盤、上盤和太陽輪分別由電機單獨驅動，電機均采用變頻電機且使用變頻調速器控制，能在有效設置范圍內以任意速度工作，實現平穩(wěn)的停止、加速、減速及換向，能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星輪傳動采用柱銷齒結構，傳動平穩(wěn)無沖擊，游星輪使用壽命長。柱銷齒采用銷套結構，銷套用不銹鋼材料經熱處理加硬，防銹耐磨，柱銷齒磨損后只需更換銷套，方便簡單，使用成本低。
4.上盤下降過程中，設置了快降和緩降，緩降行程在氣缸行程范圍內可調，緩降速度也可根據工件抗沖擊程度自由調整。
5.本機通過精密電氣比例閥調整控制加工壓力，可根據不同加工工藝要求，設定加工壓力，壓力控制精度高。
6.采用*的PLC系統，觸摸屏操作面板，所有工藝參數及工藝配方可在觸摸屏上進行修改設置，可根據設定好的工藝參數自動完成整個加工過程。
7.上盤升降設計安全裝置，在上盤升到頂時能有效的保護上盤不突然落下。
8.一體式，模塊化設計理念：將原來三臺減速機集成到一臺主機內，提高了減速機的剛性，減速機模組和磨盤模組可各自裝配好后再整體裝配，提高了裝配效率，使維護更加方便快捷。
主要技術參數：
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數 |
| 1 | 上研磨盤尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
| 2 | 下研磨盤尺寸 | Ø1188×Ø360×50(mm) |
| 3 | 游星輪參數 | 柱銷齒 柱銷直徑Ø10 節(jié)距19.3 齒數52 |
| 4 | 游星輪數量 | 5 |
| 5 | 工件尺寸 | Ø370(mm) |
| 6 | 工件厚度 | 0.3-30(mm) |
| 7 | 下研磨盤轉速 | 0-50(rmp) |
| 8 | 加工壓力 | 600Kg |
| 9 | 主氣缸 | 160×500 |
| 10 | 主電機 | 7.5Kw |
| 11 | 上盤電機 | 7.5Kw |
| 12 | 副電機 | 2.2Kw |
| 13 | 設備總功率 | 18Kw |
| 14 | 外形尺寸 | 1900×1480×2700(mm) |
| 15 | 設備質量 | ≈4500Kg |
安裝條件：
| 序號 | 項目 | 指標要求 |
| 1 | 環(huán)境 | 室內地面平坦、無振動源 |
| 2 | 水源 | 純水或自來水 |
| 3 | 電源 | 三相五線 380V |
| 4 | 壓縮氣源 | 0.6～0.8Mpa |
| 5 | 溫度 | 0℃-45℃ |
| 6 | 相對濕度 | ≤95% |
主要配置：
| 序號 | 項目 | 品牌 |
| 1 | 氣缸 | 亞德客 |
| 2 | 減速器 | 整體式變速箱 |
| 3 | 軸承 | 哈、瓦、洛 |
| 4 | 可編程控制器〔PLC〕 | 臺達 |
| 5 | 人機界面 | 威能 |
| 6 | 精密電氣比例閥 | 亞德客 |
| 7 | 電磁閥 | 亞德客 |
| 8 | 變頻器 | 丹佛斯 |
