【產(chǎn)品名稱】：RESR圓光柵系統(tǒng)
【產(chǎn)品規(guī)格】：RESR圓光柵系統(tǒng)
【詳細(xì)內(nèi)容】
雷尼紹RESR圓光柵具有的性能。RESR刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒，適用于精度要求的測量場合。
RESR圓光柵
RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 µm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容，而40 µm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。
刻劃精度達(dá)±0.5角秒，系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒
提供多種直徑和刻線數(shù)，可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數(shù)從4096到86 400）
具有的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡化了系統(tǒng)集成
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了動(dòng)態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動(dòng)、機(jī)械和熱撞擊，以及熱負(fù)載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間，還可提供轉(zhuǎn)動(dòng)量極低的"B"截面圓光柵
參考零位（具有可重復(fù)的起始位置）由單獨(dú)的勵(lì)磁塊提供
20 µm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容
RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)小巧，能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程
具有的光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下，仍具有優(yōu)異的信號穩(wěn)定性
REF接口提供自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)平衡控制 (ABC) 和自動(dòng)偏移量控制 (AOC)，極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
參考零位提供可重復(fù)的起始位置，而限位開關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
將RGH20與其他圓光柵讀數(shù)頭進(jìn)行比較。
RGH34讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
技術(shù)規(guī)格
系統(tǒng)精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20
| 讀數(shù)頭尺寸 | 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W) 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F) 9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35) |
| 輸出（分辨率） | RS422：5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm（RGH20F）、10 nm（RGH20F）、5 nm（RGH20F） 模擬：1 Vpp |
| 細(xì)分 | RGH20 — 內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nm RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù)） RGH35 — RGI34接口（x4至x400） |
| 參考零位 | 勵(lì)磁塊上的螺栓 |
| 限位開關(guān) | 單限位（RGH40與40 µm柵距RESR具有雙限位） |
| 速度 | 2938轉(zhuǎn)/分（直徑為?52 mm時(shí)為20 µm） |
| 間隙公差 | 0.8 ±0.08 mm |
| 柵尺類型 | 20 µm柵距（與RGH20和RGH35兼容）和40 µm柵距（與RGH34和RGH40兼容）RESR圓光柵 |
| 真空兼容 | 是 — RGH20F和20 µm柵距RESR |
系統(tǒng)精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20
| 標(biāo)稱外徑 (mm)系統(tǒng)精度（角秒） 52 5.6 57 5.1 75 3.9 100 2.9 101 2.9 103 2.8 104 2.8 115 2.5 150 1.9 200 1.4 | 標(biāo)稱外徑 (mm)系統(tǒng)精度（角秒） 206 1.4 209 1.4 229 1.3 255 1.1 300 1.0 350 0.8 413 0.7 417 0.7 489 0.6 550 0.5 |
