SiGNUM™系列智能光柵新增FANUC通信接口
SIGNUM™系列產(chǎn)品具有高速、非接觸的性能,還具有IN-TRAC™光學(xué)零位等*的特性,它正在重新定義光柵性能的新標(biāo)準(zhǔn)。RESM光柵由RESM環(huán)、SR讀數(shù)頭和Si接口組成。RESM是在一個不銹鋼圓環(huán)的柱面上直接刻劃20 µm的柵線。IN-TRAC™光學(xué)零位具備雙向重復(fù)的性能,工作速度達(dá)3600轉(zhuǎn)/分(?52 mm)以上,溫度可達(dá)85°C。 SiGNUM™直線光柵集高速、非接觸的性能與動態(tài)信號處理和IN-TRAC™自動調(diào)相光學(xué)參考零位等*功能于一體;使用極為方便,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM™還提供圓光柵。
選項
RELM因鋼柵尺的熱膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C,有多種長度可供選擇。堅固的因鋼柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,而且操作和安裝更為簡便,沒有破損的風(fēng)險。RELM精度為±1 µm,分辨率達(dá)5 nm,能夠滿足要求苛刻的精密運動的需求。
RSLM不銹鋼直線柵尺的性能可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美,有多種長度可供選擇,最長可達(dá)5 m。在5 m長度內(nèi)的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差) 優(yōu)于±4 μm —達(dá)到業(yè)內(nèi)!RSLM可以方便的成卷存放,一旦展開,就可以像直線柵尺一樣使用。此外,該柵尺還具有超低的周期誤差 (±30 nm),是測量精度要求嚴(yán)格的長行程應(yīng)用場合的理想解決方案。
技術(shù)
紅外發(fā)光二極管將光線射到柵尺上,它是一種柵距為20 µm的平面反射金屬光柵。柵尺均勻且周期性好,這一點非常重要,但不要求其為優(yōu)質(zhì)的衍射光柵。與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣,SiGNUM™讀數(shù)頭光學(xué)器件采用對多個光柵周期進(jìn)行平均的技術(shù),有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個的正弦波形。這里使用的是一個多條紋結(jié)構(gòu),它非常細(xì),能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結(jié)合在一起可去除DC器件,并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出,同時保持500 kHz以上的帶寬。
通過主動調(diào)節(jié)各個通道增益、偏置量以及對SiGNUM™讀數(shù)頭內(nèi)LED指示燈燈源進(jìn)行控制,可使這些信號的平衡和電平控制進(jìn)一步得到增強(qiáng)。因此,固有周期誤差(電子細(xì)分誤差,SDE)僅為±30 nm,相當(dāng)于0.15%的柵尺刻劃周期。在SiGNUM™ Si接口內(nèi),通過CORDIC算法進(jìn)行細(xì)分。
IN-TRAC™參考零位直接刻劃在增量柵尺上。此特征被光學(xué)濾波系統(tǒng)濾除,但被讀數(shù)頭內(nèi)一個分離的光電檢測器檢測到。通過光學(xué)感應(yīng)和門控電路產(chǎn)生參考零位信號,在所有的速度下都具有雙向可重復(fù)性。安裝后,相應(yīng)的模擬通道的相位校準(zhǔn)通過接口內(nèi)的邏輯自動執(zhí)行,并提供全面的系統(tǒng)監(jiān)控和安裝幫助。