? 性能和成本的平衡,具有較高性價比。
? 高精度數(shù)字式輪廓傳感器
? 無導(dǎo)頭寬范圍粗糙度傳感器
? 大量程輪廓測量,微觀輪廓度測量
? 寬范圍粗糙度測量
? 高精度大量程粗糙度、高精度大量程輪廓測量的復(fù)合機型
基本參數(shù)
? X軸:0-220mm可選
? Z軸:0-620mm可選
? Z1軸:C:0~±30mm可選/R:±620μm
? 輪廓傳感器線性精度:≤±(0.8+|0.12H|)μm
? 粗糙度傳感器線性精度:≤±(5nm + 2.8%)
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