一、主要用途:
主要用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷片、晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨/拋光,尤其對(duì)于超薄工件的加工具有優(yōu)勢(shì)。
二、主要特點(diǎn):
1、壓力控制精確:PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制;
2、上盤調(diào)心靈活:新型上盤調(diào)心裝置,旋轉(zhuǎn)與調(diào)心動(dòng)作分離,保證了上下盤動(dòng)態(tài)條件下的吻合度。
3、主機(jī)精度高傳動(dòng)平穩(wěn):高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng),傳動(dòng)平穩(wěn);高精度平面流體軸承支撐,流體軸承定點(diǎn)日本制造,保證了軸承的長壽命及高可靠性,主機(jī)運(yùn)行平穩(wěn),精度高(下盤端面跳動(dòng)可達(dá)0.02mm以上);
4、免維護(hù)設(shè)計(jì)整機(jī)減振性好:自動(dòng)集中潤滑裝置,關(guān)鍵器件采用進(jìn)口品牌;水液程序控制,自動(dòng)分離,操作便捷;水平減震墊鐵,防震式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝。