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    產(chǎn)品|二手機|公司|采購|資訊

    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)

    參考價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準
    • 公司名稱那諾—馬斯特中國有限公司
    • 品       牌
    • 型       號
    • 所  在  地國外
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時間 2022-11-16
    • 訪問次數(shù)324

    那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。


    那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國ji領(lǐng)xian的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


    自2001年Nano-Master開始設(shè)計開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全qiu薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點實驗室。


    我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員,使得公司擁有yi流的服務(wù)團隊。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商,我們的目標是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持zui高水平的集成度。



    ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD
    產(chǎn)地 進口 售后保修期 12個月
    銷售區(qū)域 全國
    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動上下載片,并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)S。
    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動上下載片,并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)S。


    NIE-3500(A).png


    NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

    • 低成本

    • 帶預(yù)真空鎖,自動上下載片

    • 離子束:高達2KV/10mA

    • 離子電流密度100-360uA/cm2

    • 離子束直徑:4",5",6"

    • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

    • J限真空5x10-7Torr

    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

    • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體

    • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)

    • 自動上下載片(NIE-3500)

    • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

    • 占地面積30"x30"


    產(chǎn)品應(yīng)用:

    • 表面處理

    • 離子銑

    • 表面清洗

    • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕


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