性能、規(guī)格
項(xiàng)目 | NANOMETRO® 700FR | NANOMETRO® 1000FR |
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量程 | φ700mm(max.) | φ1000mm(max.) |
綜合測(cè)量精度 | 0.4μm | 0.6μm |
重復(fù)測(cè)量精度 | 0.05μm(σ) | |
顯示分辨率 | 0.01μm | |
測(cè)頭 | 電子千分尺 | |
測(cè)量速度(X軸) | 35mm/s | |
軸、導(dǎo)軌 | X軸:陶瓷制氣動(dòng)滑座 θ軸:氣動(dòng)軸承 | |
驅(qū)動(dòng)方式 | X軸:線性馬達(dá) θ軸:伺服馬達(dá) | |
工件重量 | 60kg | 80kg |