性能、規(guī)格
項目 | NANOMETRO® 110F | NANOMETRO® 330F | NANOMETRO® 750F |
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量程 | X:100mm Y:100mm | X:300mm Y:300mm | X:700mm Y:500mm |
綜合測量精度 | 0.4μm | 0.6μm | |
重復測量精度 | 0.05μm(σ) | 0.1μm(σ) | |
顯示分辨率 | 0.01μm | ||
測頭 | 非接觸激光位移計 | ||
最小數(shù)據(jù)周期 | 1μm | ||
測量速度 | 0.5~30mm/s | ||
軸、導軌 | 氣動滑座 | 陶瓷制氣動滑座 | |
驅(qū)動方式 | XY:伺服馬達 | X:線性馬達 Y:伺服馬達 | |
工件重量 | 4kg | 50kg | 50kg |