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NTE-3500（A）全自動(dòng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)

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公司名稱那諾—馬斯特中國(guó)有限公司
品牌
型號(hào)
所在地國(guó)外
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2022-10-20
訪問次數(shù)325

產(chǎn)品標(biāo)簽:

蒸發(fā)鍍膜設(shè)備熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)蒸鍍?cè)O(shè)備真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸，香港，中國(guó)臺(tái)灣和澳門)的客戶，同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。

那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó)，該公司是法國(guó)那諾-馬斯*限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國(guó)ji領(lǐng)xian的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。

自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全qiu薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員，使得公司擁有yi流的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商，我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持zui高水平的集成度。

展開顯示更多內(nèi)容

ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，熱真空試驗(yàn)，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	進(jìn)口	售后保修期	12個(gè)月
銷售區(qū)域	全國(guó)

NTE-3500（A）全自動(dòng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng)，在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn)，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配

NTE-3500（A）全自動(dòng)熱蒸發(fā)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

NTE-3500（A）全自動(dòng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng)，在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn)，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

NTE-3500蒸發(fā)系統(tǒng)是一個(gè)緊湊型系統(tǒng)，跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個(gè)共同的平臺(tái)；比如：櫥柜，腔體，真空系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的。*的區(qū)別是一個(gè)使用磁控管，另一個(gè)使用加熱坩堝. 因此，在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中，比如：樣品臺(tái)的加熱，旋轉(zhuǎn)，偏斜；涂覆前的等離子清洗，膜厚監(jiān)測(cè)，序列或同時(shí)操作多源；鐘罩、鋁或不銹鋼腔體；預(yù)真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統(tǒng)等。

NTE-3500跟NSC-3500很像, 除了樣片臺(tái)是在頂部并且樣片是面朝下固定。因?yàn)橛性S多的共同點(diǎn)，我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-3500，NTS-4000)，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù)，而無須中斷真空。

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大獨(dú)t優(yōu)S是持續(xù)性地控制加熱器電流，而不是震蕩式控制加熱器。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路，這點(diǎn)跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同。在該系統(tǒng)中，電流或者RMS值的持續(xù)時(shí)間被控制。用戶可以選擇一個(gè)設(shè)定值，它實(shí)際上是設(shè)定交流電半周期的部分，會(huì)出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣，系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)較精確快速的電流控制，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現(xiàn)。此外，電流控制以及溫度控制，可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求，無論是對(duì)有機(jī)材料還是對(duì)金屬。我們測(cè)量坩堝TB的RMS電壓，RMS電流，和溫度，并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測(cè)量溫度。空坩堝的加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示，這些加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測(cè)量。

通過以上的溫度與電流的關(guān)系，我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度，溫度可以通過熱電偶來測(cè)量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會(huì)發(fā)生變化，然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測(cè)量值之間的關(guān)系將不會(huì)變化。因此，我們的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料，甚至不受線電壓值的影響。

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