可以達到納米水平的輸送控制的超精密伺服壓機。
- 加壓力:
- 5000N
- 傳感行程:
- 100mm
- 機械行程:
- 130mm
特點
- 重復(fù)位置決定精度:±50nm(納米)和超精密伺服壓機。
- 線性刻度及閉合回路控制,使得可以實現(xiàn)超精細(xì)輸送。
輸出速度:620nm/sec. - 納米伺服壓機和負(fù)載傳感器的組合,使得可以做到極低壓控制(可選)。
用途
- 膜片制造裝置
- 壓入
- 刻印裝置
- 鉚接
- 臨界實驗裝置
- 半切
- 電子零件的封印
- 沖壓
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