1. 系統(tǒng)
| 貨號(hào) | 型號(hào) | 測(cè)量范圍 | CMOS 照相機(jī) | 照明 | ||
| X軸 | Y軸 | Z軸 | ||||
| 363-110-30 | QV-L404Z1L-D | 400 mm | 400 mm | 200 mm | 彩色 | 白色LED |
1-1. 系統(tǒng)圖
2. 規(guī)格
2-1. 主機(jī)規(guī)格
| 本體尺寸及質(zhì)量 | ||
| 測(cè)量范圍 | X軸 | 400 mm |
| Y軸 | 400 mm | |
| Z軸 | 200 mm | |
| 外觀尺寸 | 1303×776×1004 mm（不含專(zhuān)用設(shè)置臺(tái)） | |
| 玻璃臺(tái)尺寸(W×D) | 466×480 mm | |
| 質(zhì)量 | 275 kg（不含設(shè)置臺(tái)重量及附件） | |
| 性能 | ||
| 視像測(cè)量精度 L：任意兩點(diǎn)間距離mm | E1X,E1Y | （2＋3L/1000）μm |
| E1Z | （3＋5L/1000）μm | |
| E2 | （2.5＋4L/1000）μm | |
| 精度保證條件 | 1.5×物鏡/總光學(xué)倍率 5.25× ※1 | |
| 分辨力 |
| 0.1 μm |
| 光柵尺CTE[/K] |
| (10±1)x10-6 |
| 精度保障溫度 |
| 20±1 ℃ |
| 移動(dòng)保證溫度 |
| 10~35℃ |
| 精度保證負(fù)載 |
| 低于20kg（的不平衡負(fù)載，集中負(fù)載是不可以的） |
| 各軸驅(qū)動(dòng)速度 |
| 200 mm/s |
| 工件重量 |
| 20kg（的不平衡負(fù)載，集中負(fù)載是不可以的） |
| 結(jié)構(gòu) | ||
| 導(dǎo)向方式 |
| 直動(dòng)式硬軸承 |
| 驅(qū)動(dòng)方式 |
| DC伺服電機(jī)＋滾珠絲杠 （速度?位置反饋方式） |
| 基本結(jié)構(gòu) |
| 固定橋式，Y軸移動(dòng)結(jié)構(gòu) |
| 空氣傳播噪聲 | ||
| A計(jì)權(quán)聲級(jí) |
| ＜70dB(A) |
| 主要裝置和功能 | ||
| 照明裝置 | 同軸照明 | 白色 LED |
| 工作臺(tái)照明 | 白色 LED | |
| 程控環(huán)形照明 | 白色 固定4區(qū)域LED | |
| 觀察裝置 |
| Zoom 鏡頭8級(jí)（變倍比：7） |
| 視像檢出方式 |
| CMOS 彩色CCD照相機(jī) |
| 溫度補(bǔ)償 |
| 無(wú) |
※1：總倍率是光學(xué)倍率，不包括顯示器倍率。
2-2. 供電裝置規(guī)格
| 供電方式 |
| 單相雙線(xiàn)系統(tǒng)。中性線(xiàn)必須接地。 | |
| 供電電壓 |
| AC100～240V±10% | |
| 頻率 |
| 50/60 Hz | |
| 接地 |
| 確認(rèn)連接接地保護(hù)（接地電阻100Ω以下） | |
| 功率 | 本體 | 170W | |
| 電腦（主機(jī)）：參考 | 425W | ||
| 顯示器：參考 | 45W | ||
| 打印機(jī)：參考 | 910W | ||
| 插孔數(shù) | 1（4） | ||
| 功率合計(jì) |
| 170 W（1550W） | |
2-3. 物鏡規(guī)格
| 物鏡 用于ZOOM | 貨號(hào) | 工作距離mm | 齊焦距離mm | 物鏡倍率 | Zoom 位置 | 總倍率 （光學(xué)） | NA | FOV（mm） | |
| H | V | ||||||||
| Z-objective 1×(選件) | 02AVA410 | 74 | 102 | 1x | 1 | 0.500× | 0.024 | 13.60 | 10.80 |
| 2 | 0.650× | 0.030 | 10.46 | 8.31 | |||||
| 3 | 0.850× | 0.037 | 8.00 | 6.35 | |||||
| 4 | 1.000× | 0.041 | 6.80 | 5.40 | |||||
| 5 | 1.500× | 0.052 | 4.53 | 3.60 | |||||
| 6 | 2.000× | 0.060 | 3.40 | 2.70 | |||||
| 7 | 2.500× | 0.068 | 2.72 | 2.16 | |||||
| 8 | 3.500× | 0.080 | 1.94 | 1.54 | |||||
| Z-objective1.5×(標(biāo)配) | 02AVA430 | 42 | 70 | 1.5x | 1 | 0.750× | 0.036 | 9.07 | 7.20 |
| 2 | 0.975× | 0.046 | 6.94 | 5.51 | |||||
| 3 | 1.275× | 0.056 | 5.31 | 4.22 | |||||
| 4 | 1.500× | 0.061 | 4.53 | 3.60 | |||||
| 5 | 2.250× | 0.077 | 3.02 | 2.40 | |||||
| 6 | 3.000× | 0.090 | 2.27 | 1.80 | |||||
| 7 | 3.750× | 0.101 | 1.81 | 1.44 | |||||
| 8 | 5.250× | 0.120 | 1.30 | 1.03 | |||||
| Z-objective2×(選件) | 02AVA450 | 42 | 70 | 2x | 1 | 1.000× | 0.048 | 6.80 | 5.40 |
| 2 | 1.300× | 0.061 | 5.23 | 4.15 | |||||
| 3 | 1.700× | 0.074 | 4.00 | 3.18 | |||||
| 4 | 2.000× | 0.081 | 3.40 | 2.70 | |||||
| 5 | 3.000× | 0.103 | 2.27 | 1.80 | |||||
| 6 | 4.000× | 0.120 | 1.70 | 1.35 | |||||
| 7 | 5.000× | 0.135 | 1.36 | 1.08 | |||||
| 8 | 7.000× | 0.160 | 0.97 | 0.77 | |||||
2-4. 設(shè)置環(huán)境條件
| 溫度環(huán)境 | 環(huán)境溫度 | 20±1℃ |
|
| 溫度変化 | 2℃/8H |
|
| 溫度梯度 | 1 ℃/m（高度?水平方向） |
| 振動(dòng)條件 | 振動(dòng)頻率10Hz以下 | 振幅≦2μm |
|
| 振動(dòng)頻率超過(guò)10Hz | 加速度≦0.004 m/s2 |
| 推薦的濕度條件 |
| 55-65 %RH |
3. 附件
3-1. 主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)附件
| 貨號(hào) | 品名 | 備注 | 數(shù)量 |
| 02AXA470 | QV 操作盒 |
| 1 |
| 02ZAA041 | 電源線(xiàn) | 中國(guó)CCC | 1 |
| 02AXA996 | 主機(jī)專(zhuān)用設(shè)置臺(tái) | QV active 404用 | 1 |
| 02ATN695 | QV校準(zhǔn)片（With hold） | 像素尺寸校準(zhǔn)帶支架（推薦） | 1 |
| —— | QVPAK（操作軟件） |
| 1 |
| —— | PC系統(tǒng) | 詳見(jiàn)PC規(guī)格 | 1 |
| 99MDB631A | 用戶(hù)手冊(cè)英語(yǔ) | 紙質(zhì)版 | 1 |
| 02ATV654 | 工作臺(tái)玻璃 |
| 1 |
| C420-110 | 接口卡 |
| 1 |
| 02ATS521 | QV-ConfigDisk |
| 1 |
| 99MDB632B | 介紹手冊(cè) |
| 1 |
| 02AXA990 | 用戶(hù)手冊(cè)光盤(pán) |
| 1 |
| —— | 保證書(shū) |
| 1 |
| 02AVA430 | Z-objective 1.5× | 1.5倍物鏡 | 1 |
