ZNX-6R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),限度減輕操作
者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自
由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多
種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。
寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作。
大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì),行程158×158mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
技術(shù)規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) 無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) 觀察筒 30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 視場(chǎng)) 30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,三檔分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 視場(chǎng)) 5-35°傾角可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5 屈光度,兩檔分光比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 視場(chǎng)) 目鏡 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/22mm,可帶測(cè)微尺,可選視度可調(diào) 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/23mm,視度可調(diào) 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/26.5mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL15X/16mm 物鏡 長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X) 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X) 超長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡(20X) 轉(zhuǎn)換器 內(nèi)定位五孔明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 透、反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 . 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),5W 暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨(dú)立可控 載物臺(tái) 6 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺(tái)面積 445mm×240mm,反射照明移動(dòng)范圍 :158mm×158mm ;透射照明移動(dòng)范圍 :100×100mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ;玻璃載物臺(tái)板(透、反射用) 照明系統(tǒng) 明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 攝影攝像 0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦 其他 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺;DIC 微分干涉組件。